В конце 2025 г. стоимость первого российского фотолитографа «Прогресс СТП-350» с топологическими нормами 350 нм составила 392 млн руб. без НДС. Установку выпускает «Зеленоградский нанотехнологический центр» («ЗНТЦ») совместно с белорусским партнёром.
В стоимость входят доставка до площадки заказчика, установка и обучение персонала на его территории. Срок изготовления и поставки оборудования составляет 18 месяцев с момента внесения аванса (50% от цены). Производительность литографа заявлена на уровне 63 пластин диаметром 150 мм в час или 43 пластин диаметром 200 мм в час.
Коммерческое предложение также предусматривает расширенное гарантийное обслуживание стоимостью 58 млн руб. (действует два года и включает ремонт, дистанционную диагностику) и дополнительную гарантию на пять лет — 111 млн руб. Таким образом, полная цена литографа с продлённым сроком гарантии превышает 500 млн руб. без НДС.
Дополнительно можно приобрести активную виброзащиту за 40 млн руб. и комплект из 24 фотошаблонов за 12 млн руб. (обе цены без НДС).
Установка имеет рабочее поле 22 × 22 мм, обрабатывает пластины диаметром 200 мм и работает на длине волны 354,7 нм (в технической документации также указана рабочая длина 365 нм). Вес установки — 3500 кг, заявленный срок службы — не менее пяти лет.
Условия поставки и расторжения договора
Согласно условиям коммерческого предложения, при отмене заказа аванс не возвращается. Если заказчик отказывается от оборудования после его изготовления и готовности к отгрузке, с него взимается 100% стоимости договора. Представитель «ЗНТЦ» сообщил, что центр заключил несколько договоров на отложенную поставку, но их детали не разглашает. Стоимость сервисного обслуживания пока находится в стадии проработки.
Оценки рынка: технологический суверенитет или завышенная цена?
Мнения экспертов разделились. Алексей Бойко, независимый аналитик и автор Telegram-канала RUSmicro, назвал цену «очень привлекательной» и отметил, что она «существенно, на десятки процентов ниже, чем у зарубежных вариантов оборудования на 350 нм». Аналогичную позицию выразили два собеседника на рынке микроэлектроники, которые подчеркнули сопоставимость цены с иностранными аналогами.
«С точки зрения мировой рыночной экономики — крайне завышенная стоимость за предлагаемые технические характеристики. С точки зрения логики импортозамещения в условиях жёстких технологических санкций — вероятно, обоснованная и необходимая цена за создание собственной базовой компетенции в области фотолитографии, даже на уровне 350 нм. Это плата за технологический суверенитет», — заявил глава «Троичных технологий» Александр Тимошенко.
Контекст и дальнейшие планы
Разработка велась в рамках тендеров Минпромторга, выигранных «ЗНТЦ» в 2021 г. Работы были завершены весной 2025 г. Сейчас центр работает над следующим поколением установки с разрешением 130 нм. По данным сентября 2025 г., её стоимость должна составить $6 млн, а скорость обработки достигнет 100–140 пластин в час.
Для сравнения: литограф на 130 нм от нидерландской компании ASML (45% мирового рынка) стоит $15 млн и обрабатывает 180 пластин в час. Оборудование Nikon (25% рынка) оценивается в $12 млн с производительностью 150 пластин в час, Canon (20% рынка) — $10 млн и 140 пластин в час, китайская SMEE — $8 млн и 120 пластин в час.