Учёные Новосибирского государственного университета представили проектную концепцию опытного рентгеновского литографа «Орел-7». Установку предполагается разместить на площадке Центра коллективного пользования «Сибирский кольцевой источник фотонов» (СКИФ). Об этом сообщила пресс-служба университета.
Новое оборудование призвано обеспечить работу в рентгеновском диапазоне, что теоретически открывает перспективы создания микроэлектронных элементов размером в единицы нанометров — фактически, на уровне отдельных атомных слоёв.
Межинститутская команда и задачи проекта
Над разработкой работает междисциплинарная группа, объединившая специалистов Центра искусственного интеллекта НГУ, Института физики полупроводников и Института вычислительной математики и математической геофизики СО РАН. Цель коллектива — создать специализированную станцию на базе синхротрона СКИФ, где можно будет отрабатывать новые технологические процессы с использованием синхротронного излучения.
Директор Центра искусственного интеллекта НГУ Александр Люлько подчеркнул, что реализация подобной задачи требует объединения компетенций нескольких научных институтов. По его словам, применение цифровых двойников будущего литографа способно существенно сократить время на проектирование и тестирование установки.
Альтернатива дорогостоящим технологиям
Участники конференции отмечают, что рентгеновская литография может выступить более доступной альтернативой сложным и капиталоёмким методам, применяемым сегодня в мировой индустрии полупроводников. Технология позволяет обойти дифракционный предел, что теоретически даёт более высокое разрешение без снижения производительности.
Разработчики указывают на возможность преодолеть технологический барьер в 28 нанометров, что рассматривается как один из ключевых этапов на пути к производству процессоров топ-уровня на собственной технологической базе в России.
Этапы внедрения и практическое применение
Опытный образец литографа создадут на базе СКИФ для изучения физики процессов и отработки рабочих параметров. Аналогичное оборудование планируется развернуть на синхротроне в Зеленограде для промышленного использования.
Проект находится на стадии проектирования. Конкретные сроки запуска станции и объём финансирования не раскрываются.